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      ISO Class6 & 千級

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      ISO Class6 & 千級潔凈室

      發布者:磊建凈化

      發布時間:2022-01-20

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      千級潔凈室案例簡介:

      承接單位:上海磊建凈化

      潔凈等級:千級、 百級

      工程定位:浙江***半導體材料有限公司



        潔凈室平面布局:

        潔凈室一般包括潔凈區、準潔凈區和輔助區三部分。

        潔凈室的平面布置可以有以下幾種方式:

        外廊環繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設備用,有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。

        內廊式:潔凈室設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的潔凈度級別一般都較高,甚至和潔凈室同級。

        兩端式:潔凈區設在一邊,另一邊設準潔凈和輔助用房。

        核心式:為了節約用地、縮短管線,可以潔凈區為核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來,這種方式避開室外氣候對潔凈區的影響,減少了冷熱能耗,利于節能



      潔凈室裝修實拍



        潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。



        潔凈室的空氣潔凈度,進行下列測試:

        空態測試:潔凈室已竣工,凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。

        靜態測試:潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測試。

        動態測試:潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試。無塵室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。


        千級潔凈室潔凈度:

        將不大于0.5微米粒徑的塵埃粒子數量控制在每立方米3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。




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      半導體百級潔凈室裝修

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