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      ISO Class5 & 百級

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      ISO Class5 & 半導體百級無塵室

      發布者:磊建凈化

      發布時間:2022-01-24

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      百級無塵室案例簡介:

      承接單位:上海磊建凈化

      潔凈等級:百級、千級

      工程定位:浙江***半導體材料有限公司



        無塵室的平面布局:

        無塵室一般包括潔凈區、準潔凈區和輔助區三部分。

        無塵室的平面布置可以有以下幾種方式:

        外廊環繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設備用,有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。

        內廊式:無塵室設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的潔凈度級別一般都較高,甚至和無塵室同級。

        兩端式:潔凈區設在一邊,另一邊設準潔凈和輔助用房。

        核心式:為了節約用地、縮短管線,可以潔凈區為核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來,這種方式避開室外氣候對潔凈區的影響,減少了冷熱能耗,利于節能



      百級無塵室裝修實拍



        百級無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。



        百級無塵室的空氣潔凈度,進行下列測試:

        空態測試:無塵室已竣工,凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。

        靜態測試:無塵室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測試。

        動態測試:無塵室已處于正常生產狀態下進行測試。無塵室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。

        百級無塵室工作區空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數,宜采用光散射粒子計數法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數也可采用濾膜顯微鏡計數法。



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      半導體百級潔凈室裝修

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